矽微細加工型波長可調式紅外線偵檢元件研製(II)

標題:	矽微細加工型波長可調式紅外線偵檢元件研製(II)
作者:	羅正忠交通大學電子工程研究所
關鍵字:	微細加工;矽;紅外線偵測器;Micromachining;Silicon;Infrared detector
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-CS-D009-001
URI:	http://hdl.handle.net/11536/101304 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542152&docId=99596
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