斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法

標題:	斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法
作者:	チア－フアチャンチン－シェンヤンチン－フア，チュペイ－チェンユーハオ－チュンクオ
公開日期:	3-Oct-2014
官方說明文件#:	C23C014/24 B82B003/00 C23C014/30 C23C014/58
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105798
專利國:	JPN
專利號碼:	5621955
Appears in Collections:	Patents