鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II：內視鏡用熱動式微致動機構的設計與製作(II)
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微致動器 , 微反射鏡 , 電－熱驅動 , 內視鏡 , 可調式鏡面 , 複晶矽 , Microactuator , Micromirror , Electro-thermally driven , Endoscope , Adjustable mirror , Polysilicon