標題: | 鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II:內視鏡用熱動式微致動機構的設計與製作(II) Design and Fabrication of Thermally Driven Micro Mechanisms (II) |
作者: | 徐文祥 HSU WENSYANG 交通大學機械工程系 |
關鍵字: | 微致動器;微反射鏡;電-熱驅動;內視鏡;可調式鏡面;複晶矽;Microactuator;Micromirror;Electro-thermally driven;Endoscope;Adjustable mirror;Polysilicon |
公開日期: | 2000 |
官方說明文件#: | NSC89-2218-E009-005 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/88456 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=525728&docId=95651 |
顯示於類別: | 研究計畫 |