標題: | 多腔式半導體製程設備之物件導向即時模擬控制系統 Object-Oriented Real-time Control System Simulator for Cluster Tools Semiconductor Equipment |
作者: | 陳傑 交通大學機械工程系 |
關鍵字: | 半導體製程設備;多腔式製程設備;物件導向模型;物件導向設計;即時軟體硬體迴路模擬;Semiconductor manufacturing equipment;Cluster tool;Object oriented modeling;Object oriented design;Real time software;Hardware in the loop simulation |
公開日期: | 2000 |
官方說明文件#: | NSC89-2212-E009-046 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/91230 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=501416&docId=90421 |
顯示於類別: | 研究計畫 |