300 mm 多腔製程設備之自動建模及最佳排程

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Authors

Keywords

自動建模 , 排程 , 晶圓製程 , 生產管制 , Automatic modeling , Scheduling , Wafer process , Production control

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=645542&docId=121289
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/93683

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研究計畫;;Research Plans