寄生氧化層對具有原子層平坦之超薄氧化層的影響

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Date

Authors

Keywords

寄生氧化層 , 超薄氧化層 , 遷移率 , Native oxide , Ultra-thin oxide , Mobility

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542127&docId=99589
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/93917

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研究計畫;;Research Plans