多軸觸覺式感測器之研究(II)

標題:	多軸觸覺式感測器之研究(II) A Study of Multi-Axial Tactile Sensors (II)
作者:	黃宇中 HUANG YU-CHUNG 交通大學電子工程系
關鍵字:	觸覺感測器;微機電系統;多軸式;溼式蝕刻;前置蝕刻;Tactile sensor;MEMS;Multi-axial;Wet etching;Pre-etching
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2218-E009-014
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94344 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418622&docId=74286
顯示於類別：	研究計畫

文件中的檔案：

若為 zip 檔案，請下載檔案解壓縮後，用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。