隨機記憶體用高介電薄膜電容之研發(III)

標題:	隨機記憶體用高介電薄膜電容之研發(III) High Dielectric Thin Film Capacitor for DRAM (III)
作者:	林鵬 LIN PANG 交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字:	隨機動態存取記憶體;高介電常數;薄膜;電容器;濺鍍;DRAM;High dielectric constant;Thin film;Capacitor;Sputtering
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2215-E009-028
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94453 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444166&docId=80433
顯示於類別：	研究計畫

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