標題: 快速熱程序設備動態模式建立參數判別及溫度控制(III)
Thermal Process Modelling Parameter Identification and Temperature Control in Rapid Thermal Processing Equipments(III)
作者: 林清安
LIN CHING-AN
交通大學電機與控制工程系
關鍵字: 快速熱處理;溫度控制;參數識別;晶圓表面;線性矩陣不等式;熱源;Rapid thermal processing (RTP);Temperature control;Parameter identification;Wafer surface;Linear matrix inequality;Heat source
公開日期: 1999
官方說明文件#: NSC88-2218-E009-005
URI: http://hdl.handle.net/11536/94475
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=430078&docId=77027
顯示於類別:研究計畫


文件中的檔案:

  1. 882218E009005.pdf

若為 zip 檔案,請下載檔案解壓縮後,用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。