標題: | 鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II:內視鏡用熱動式多自由度微致動器的設計與製作 Design and Fabrication of Thermal-Driven Multi-DOF Microactuators for Endoscope |
作者: | 徐文祥 HSU WENSYANG 交通大學機械工程系 |
關鍵字: | 微致動器;熱驅動;主動式內視鏡;多晶矽;微細加工;有限元素分析;Microactuator;Thermal driven;Active endoscope;Polysilicon;Micromachining;Finite element analysis (FEA) |
公開日期: | 1999 |
官方說明文件#: | NSC88-2218-E009-008 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94488 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=431311&docId=77319 |
顯示於類別: | 研究計畫 |