隨機記憶體用高介電薄膜電容之研發

Date

Authors

Keywords

動態隨機存取記憶體 , 介電常數 , 薄膜 , 電容 , 濺鍍 , 製程 , DRM , Dielectric constant , Thin film , Capacitors , Sputtering , Process

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409130&docId=72441
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94785

Collections

研究計畫;;Research Plans