標題: | 隨機記憶體用高介電薄膜電容之研發 High Dielectric Thin Film Capacitor for DRAM |
作者: | 林鵬 LIN PANG 交通大學材料科學與工程研究所 |
關鍵字: | 動態隨機存取記憶體;介電常數;薄膜;電容;濺鍍;製程;DRM;Dielectric constant;Thin film;Capacitors;Sputtering;Process |
公開日期: | 1998 |
官方說明文件#: | NSC87-2215-E009-073 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94785 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409130&docId=72441 |
Appears in Collections: | Research Plans |