標題: 隨機記憶體用高介電薄膜電容之研發
High Dielectric Thin Film Capacitor for DRAM
作者: 林鵬
LIN PANG
交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字: 動態隨機存取記憶體;介電常數;薄膜;電容;濺鍍;製程;DRM;Dielectric constant;Thin film;Capacitors;Sputtering;Process
公開日期: 1998
官方說明文件#: NSC87-2215-E009-073
URI: http://hdl.handle.net/11536/94785
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409130&docId=72441
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