熱程序動態模式建立參數判別及溫度控制(II)

標題:	熱程序動態模式建立參數判別及溫度控制(II) Thermal Process Modelling Parameter Identification and Temperature Control(II)
作者:	林清安 LIN CHING-AN 交通大學控制工程系
關鍵字:	快速熱處理;溫度控制;熱動態模式;晶圓;熱源;Rapid thermal processing;Temperature control;Thermal process modelling;Wafer;Heat source
公開日期:	1998
官方說明文件#:	NSC87-2218-E009-003
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94815 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409175&docId=72453
顯示於類別：	研究計畫

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