熱動式撓性微型機構的設計與製作(II)

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Date

Authors

Keywords

微機電系統 , 微致動器 , 表面細微加工 , 體微加工 , 微型夾子 , Micro electromechanical system , Microactuator , Surface micromachining , Bulk micromachining , Microgripper , MEMS

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=395592&docId=69862
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94862

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研究計畫;;Research Plans