奈米金屬閘MOS元件製程技術之研發

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Keywords

奈米結構 , 金氧半導體元件 , 金屬閘 , 積體電路技術 , Nanostructure , MOS device , Metal gate , IC technique

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665793&docId=126396
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94920

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研究計畫;;Research Plans