標題: | 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---總計畫 Study and Development on Poly-Si Thin-Film Transistors and Their Related Technologies |
作者: | 李崇仁 國立交通大學電子工程學系 |
關鍵字: | 複晶矽;薄膜電晶體;快速熱處理;Polyscilicon;Thin-film transistors;Rapid thermal processing |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-034 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95934 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234749&docId=43101 |
顯示於類別: | 研究計畫 |