標題: | 微機電系統校際整合研究---子計畫三:玻璃結合及感測器之評估 Sub-Project: Glass Bonding and Evaluation of Sensor Performance |
作者: | 黃宇中 HUANG YU-CHUNG 國立交通大學電子工程學系 |
關鍵字: | 陽極結合;測試;感測器;Anodic bonding;Testing;Sensor |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-031 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96027 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234610&docId=43066 |
顯示於類別: | 研究計畫 |