微機電系統校際整合研究---子計畫一：電容性微感器及微控器元件結構設計與製造

Date

Authors

Keywords

微機電系統 , 微感測器 , 微致動器 , 微機電元件 , MEMS , Microsensor , Microactuator , Microdevice

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234686&docId=43084
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96117

Collections

研究計畫;;Research Plans