標題: | 複晶矽薄膜電晶體相關技術之開發與研究---子計畫三:複晶矽薄膜電晶體之研究與應用 The Study and Application of Polysilicon Thin-Film Transistors |
作者: | 李崇仁 國立交通大學電子工程學系 |
關鍵字: | 複晶矽;薄膜電晶體;快速加熱退火製程;靜態隨機存取記憶體;Polysilicon;Thin-film transistor;Rapid thermal process;SRAM |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2215-E009-037 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96145 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234754&docId=43102 |
顯示於類別: | 研究計畫 |