隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發

Date

Authors

Keywords

動態隨機存取記憶體 , 介電常數 , 薄膜 , 電容 , 濺渡 , DRAM , Dielectric constant , Thin film , Capacitor , Sputtering

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=525776&docId=95664
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/88478

Collections

研究計畫;;Research Plans