以電子迴旋共振化學氣相沈積技術成長超薄閘極絕緣膜及可靠性之研究(I)

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URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583835&docId=109692
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/98062

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研究計畫;;Research Plans