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Sn與In系列之鈣鈦礦氧化物薄膜之成長與物理性質
(2016)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
Sn與In系列之鈣鈦礦氧化物薄膜之成長與物理性質
(2015)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
功能性異質氧化結構成長工坊
(2014)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
功能性異質氧化結構成長工坊
(2015)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
功能性異質氧化結構成長工坊
(2016)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
尖端晶體材料製備與分析核心設施計畫-子計畫五：功能性氧化物原子工坊
(2012)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
為了提昇國內在新穎材料設計、合成單晶與磊晶成長及其元件製作之研發品質及競爭力，提昇國內基礎科學在這方面之研究，以期達到國際領先境界，更能迅速與產業應用端接軌，開創科技研究之經濟價值。國科會自然處四年來已推動建立新穎材料之單晶與磊晶成長所需之關鍵核心設施、技術及服務平台，目前已有幾個相當成功之種子平台，可以開發出關鍵性材料與晶體。此計劃書之目的在於規劃下三年第二期此計畫內位於交大材料系平台之推動。交通大學材料系朱英豪助理教授所領導的團隊，經由國科會自然處與交通大學之補助，目前負責功能性氧化物磊晶成長平台，三年內成績優異，使用者眾，希望利用此計畫，以目前之經驗，來推動成立實驗中心之可行性。第一期為種子平台，到第一期結束將成為物理學門研究群的後盾，將物理學門研究學者可以更專注於物理問題之探索，將材料之問題藉由本平台之提供和開發，以節省重新開發材料之時間。所以計畫應該要深化平台之運作，確保平台在接下來之第二期計畫中，可以維持基本之成長運作，以提升樣品品質，進一步可以節省雙方開發材料與深入物性探討之時間。同時之間希望可以開始建立元件開發製程團隊之合作關係，以利材料開發與基本物性了解之後之可能性應用，因此希望規劃建立較大面積之製程，以利元件製程開發之建立。目前平台急需大面積磊晶成長與快速的薄膜樣品結晶檢測，以利元件製程以及新材料開發。第二期計畫結束後，該研究平台，將具有氧化物磊晶薄膜成長之完整實驗室，同時將培養虛擬之物性量測群，與元件開發群，以建立一個虛擬的研究中心，以利後續我國於新穎氧化物材料之開發。
尖端晶體材料製備與分析核心設施計畫-子計畫五：功能性氧化物原子工坊
(2013)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
為了提昇國內在新穎材料設計、合成單晶與磊晶成長及其元件製作之研發品質及競爭力，提昇國內基礎科學在這方面之研究，以期達到國際領先境界，更能迅速與產業應用端接軌，開創科技研究之經濟價值。國科會自然處四年來已推動建立新穎材料之單晶與磊晶成長所需之關鍵核心設施、技術及服務平台，目前已有幾個相當成功之種子平台，可以開發出關鍵性材料與晶體。此計劃書之目的在於規劃下三年第二期此計畫內位於交大材料系平台之推動。交通大學材料系朱英豪助理教授所領導的團隊，經由國科會自然處與交通大學之補助，目前負責功能性氧化物磊晶成長平台，三年內成績優異，使用者眾，希望利用此計畫，以目前之經驗，來推動成立實驗中心之可行性。第一期為種子平台，到第一期結束將成為物理學門研究群的後盾，將物理學門研究學者可以更專注於物理問題之探索，將材料之問題藉由本平台之提供和開發，以節省重新開發材料之時間。所以計畫應該要深化平台之運作，確保平台在接下來之第二期計畫中，可以維持基本之成長運作，以提升樣品品質，進一步可以節省雙方開發材料與深入物性探討之時間。同時之間希望可以開始建立元件開發製程團隊之合作關係，以利材料開發與基本物性了解之後之可能性應用，因此希望規劃建立較大面積之製程，以利元件製程開發之建立。目前平台急需大面積磊晶成長與快速的薄膜樣品結晶檢測，以利元件製程以及新材料開發。第二期計畫結束後，該研究平台，將具有氧化物磊晶薄膜成長之完整實驗室，同時將培養虛擬之物性量測群，與元件開發群，以建立一個虛擬的研究中心，以利後續我國於新穎氧化物材料之開發。
新穎材料開發計畫---強化雷射分子束氧化物磊晶平台
(2010)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
氧化物材料具有多樣之結構特性，可以形成簡單之二元氧化物，亦可形成複雜之多元氧化物，同時包含許多特殊之優良性質，舉凡超導特性、巨磁阻特性、焦電、壓電、介電、半導、導電、磁性、光性等，幾乎包含所有物理性質。氧化物電子目前正蓬勃之發展，為下一個世代之電子元件提供另一種解決方案。本計劃第一年已獲補助建立雷射分子束磊晶，可以快速大幅提升我國學界與業界在氧化物磊晶研發之實力。計劃要建立之系統雷射分子束磊晶平台，將具有高工作氣壓之RHEED來進行臨場薄膜之成長，這樣的系統可以提供氧化物磊晶薄膜技術龐大之資料庫。此一磊晶成長平台之建立，可以快速提昇我國於氧化物磊晶成長之基礎能力，可以繼續利用此平台研發新穎與新功能之材料。高品質之材料為固態物理研究之基石，此平台建立後，已經為以量測為主之研究群，提供樣品確保其樣品之品質。另外對於成長氧化物磊晶有興趣之研究群，這樣的平台提供共同研發之機會，可以藉由計畫主持人長期之經驗，快速的建立起新製程，以利其他研究群材料之快速開發。第二年將計畫延伸此平台之完整性與功能性，在此系統上增加高真空掃描系統，此系統除了可以解決目前成長系統研發速度受限之缺點，亦可提供另一個快速與安全平台，可以讓成長我之高品質磊晶薄膜立即進行特性之量測，此兩部分將相輔相成，可以將我國氧化物磊晶之技術更往前邁進一步，此系統將成為國內成長氧化物薄膜之模範平台，可以厚植本國在此領域研發之能力。此一平台亦提供業界快速取得多功能與高品質之氧化物磊晶，有助於縮短業界開發新製程與元件之研發時間，同時間由於各種氧化物搭配，亦可由此一平台提供，亦可提供業界元件製程與整合所遇到困難之解決方案。目前使用者眾多，系統無法兼顧新穎材料之開發與提供平台合作對象高品質之樣品，因此希望今年可以強化平台的功能，建立第二套系統，以利開發和合作同時進行，同時也降低系統損壞維修之風險。第二套之系統亦可為將來與同步輻射結合之開發分析系統做準備。
新穎材料開發關鍵核心設施計畫---雷射分子束氧化物磊晶平台
(2008)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系(所)
本計劃希望藉由雷射分子束磊晶之建立，可以快速大幅提升我國學界與業界在氧化物磊晶研發之實力。氧化物材料具有多樣之結構特性，可以形成簡單之二元氧化物，亦可形成複雜之多元氧化物，同時包含許多特殊之優良性質，舉凡超導特性、巨磁阻特性、焦電、壓電、介電、半導、導電、磁性、光性等，幾乎包含所有物理性質。氧化物電子目前正蓬勃之發展，為下一個世代之電子元件提供另一種解決方案。計劃要建立之系統雷射分子束磊晶平台，將具有高工作氣壓之RHEED 來進行臨場薄膜之成長，同時將搭配LEED 與Time Of Flight - Ion Scattering and Recoil Spectroscopy 還有XPS，用來檢測表面之結構、組成與電子態，亦將加入Raman 又來監控降溫時之相變化過程，這樣的系統可以提供氧化物磊晶薄膜技術龐大之資料庫。此一磊晶成長平台一旦建立，可以快速提昇我國於氧化物磊晶成長之基礎能力，可以繼續利用此平台研發新穎與新功能之材料。高品質之材料為固態物理研究之基石，此平台建立後，可以為以量測為主之研究群，提供樣品確保其樣品之品質。另外對於成長氧化物磊晶有興趣之研究群，這樣的平台提供共同研發之機會，可以藉由計畫主持人長期之經驗，快速的建立起新製程，以利其他研究群材料之快速開發。此一平台亦提供業界快速取得多功能與高品質之氧化物磊晶，有助於縮短業界開發新製程與元件之研發時間，同時間由於各種氧化物搭配，亦可由此一平台提供，亦可提供業界元件製程與整合所遇到困難之解決方案。
新穎材料開發關鍵核心設施計畫---雷射分子束氧化物磊晶平台之延伸
(2009)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系(所)
氧化物材料具有多樣之結構特性，可以形成簡單之二元氧化物，亦可形成複雜之多元氧化物，同時包含許多特殊之優良性質，舉凡超導特性、巨磁阻特性、焦電、壓電、介電、半導、導電、磁性、光性等，幾乎包含所有物理性質。氧化物電子目前正蓬勃之發展，為下一個世代之電子元件提供另一種解決方案。本計劃第一年已獲補助建立雷射分子束磊晶，可以快速大幅提升我國學界與業界在氧化物磊晶研發之實力。計劃要建立之系統雷射分子束磊晶平台，將具有高工作氣壓之RHEED 來進行臨場薄膜之成長，這樣的系統可以提供氧化物磊晶薄膜技術龐大之資料庫。此一磊晶成長平台之建立，可以快速提昇我國於氧化物磊晶成長之基礎能力，可以繼續利用此平台研發新穎與新功能之材料。高品質之材料為固態物理研究之基石，此平台建立後，已經為以量測為主之研究群，提供樣品確保其樣品之品質。另外對於成長氧化物磊晶有興趣之研究群，這樣的平台提供共同研發之機會，可以藉由計畫主持人長期之經驗，快速的建立起新製程，以利其他研究群材料之快速開發。此一平台亦提供業界快速取得多功能與高品質之氧化物磊晶，有助於縮短業界開發新製程與元件之研發時間，同時間由於各種氧化物搭配，亦可由此一平台提供，亦可提供業界元件製程與整合所遇到困難之解決方案。今年之提案，將計畫延伸此平台之完整性與功能性。目前平台之研發時程，受制於前段基板之檢測，與後續薄膜性能之分析，以致於研發速度受限，因此今年度希望可以在此系統上增加超高真空掃描系統，此系統除了可以解決目前成長系統研發速度受限之缺點，亦可提供另一個快速與安全平台，可以讓成長我之高品質磊晶薄膜立即進行特性之量測，此兩部分將相輔相成，可以將我國氧化物磊晶之技術更往前邁進一步，此系統將成為國內成長氧化物薄膜之模範平台，可以厚植本國在此領域研發之能力。
新穎磁性複合型介晶體材料之研製與應用
(2016)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）
新穎磁性複合型介晶體材料之研製與應用
(2015)
朱英豪
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Chu Ying-Hao
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國立交通大學材料科學與工程學系（所）