Browsing by Author "Hung Shao-Kang"

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低寄生旋轉二維平面奈米定位器之設計
(2014)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系（所）
低寄生旋轉二維平面奈米定位器之設計(II)
(2015)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系（所）
即時奈米攝影機之設計與研究
(2009)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系(所)
即時奈米攝影機之設計與研究
(2010)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系（所）
即時奈米攝影機之設計與研究
(2011)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系（所）
微奈米快速原型
(2012)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系（所）
快速原型 (rapid prototype, RP) 是一種成熟的技術，廣泛地運用在各種產業。傳統的快速原型機最好的橫向解析度約在數十微米。本計畫的目的是利用原子力顯微鏡 (atomic force microscopy, AFM) 為基礎的浸筆微刻法 (dip-pen lithography) 發展超高解析度的三維快速原型技術，橫向解析度由原子力顯微鏡探針針尖 (~10nm) 決定。既有的浸筆微刻法通常以化學方法結合基材與墨料，但無法堆疊墨料，故僅能製作單層二維圖形。本計畫第一年專注在二維小面積的 (~5050 m2) 工作項目，追求橫向解析度的極限。第二年專注在三維立體結構，探討不同的材料與結合方法實現多層疊合。第三年的工作項目是大面積 (~5050 mm2) 立體結構製作，追求實際的應用價值，例如超細線寬 (~20nm) 光罩與圖案化藍寶石基板 (pattern sapphire substrate, PSS)。
高速奈米定位器之設計與研究
(2008)
洪紹剛
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Hung Shao-Kang
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國立交通大學機械工程學系(所)
奈米定位器被泛用在顯微術、精密量測、微加工、微操控、半導體製程設備等先進領域，其中一個重要的應用便是原子力顯微術，它是奈米科技發展不可或缺的檢測工具。原子力顯微鏡的用途廣泛，例如表面形貌測繪、奈米顆粒粒徑分析、微彈性量測等。然而原子力顯微鏡最大的缺點就是速度慢，故本計畫的目標便是發展一高速奈米定位器。我們提出「平行細柱群」彈性導引機構、多致動器並聯式機構、光纖干涉儀等多項新穎設計，所整合出的高速奈米定位器，預期可以15kHz 的頻寬驅動18g 的負載。在未來可以帶動以光碟讀取頭為核心的探針撓曲量測模組，搭配「螺旋軌跡掃描法」，構成具有每秒30 張取像能力的掃針式即時奈米攝影機。如此便可獲致突破性的應用，例如產線上快速奈米尺度缺陷篩檢。