Browsing by Author "Jian Sheng-Rui"

Now showing 1 - 1 of 1

奈米碳管之結構與應用物理特性研究
(2007)
簡賸瑞
;
Jian Sheng-Rui
;
國立交通大學電子物理學系(所)
奈米碳管，因為具有極佳的高寬比、小的曲率半徑、良好的化學穩定性、以及很高的機械強度，奈米碳管表面的幾何形狀，具耐高電流密度、高導電度等等，被廣為應用在元件上。本計劃利用熱化學氣相沉積系統以鎳為催化層，由控制奈米碳管成長的參數來合成不同形態的奈米碳管，以求得最佳合成參數。為進一步瞭解奈米碳管在電子傳導之功用，預計以電子束微影製程得到奈米級的結構尺度製作多層次結構並研究不同製程中，電漿處理用以改變奈米碳管表面之結構以提高導電之特性。實驗中，預計發展橫向奈米碳管之電路整合，將鎳觸媒借由預設多層次鍍層設計，使最上層之鉭金屬扮演防止奈米碳管垂直成長的功能，製程中以熱化學氣相沉積系統合成奈米碳管，引導碳管橫向連接到兩端鈦金屬電極，電漿後處理之橫向碳管在電性與化性分析上，以X 光電子能譜儀分析表面化學機制，表面形貌以掃瞄式電子顯微鏡與原子力顯微鏡觀察，奈米碳管結構以穿透式電子顯微鏡觀察，電漿後處理後之奈米碳管以介電層披覆，使用電性量測系統探討碳管橫向的電性與物理性質，此結構未來可運用在奈米碳管場效電晶體。此外，結合了原子力顯微鏡與分子動力學模擬來分析奈米碳管之奈米力學機制。藉由此研究，將更精確地瞭解奈米碳管之結構與機電特性，進而提升光電與半導體之技術。