Browsing by Author 凃弘恩
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Issue Date | Title | Author(s) |
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2014 | 利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究 | 凃弘恩; Tu, Hung-En; 呂志鵬; Leu, Jihperng; 材料科學與工程學系所 |
16-Dec-2013 | 掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置 | 呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛 |
21-Aug-2014 | 掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置 | 呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛 |