Browsing by Author 張子云
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 16-Jun-2004 | 一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程 | 雷添福; 張子云; 溫凰君 |
| 1-Jun-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |
| 1-Jan-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |
| 2002 | 利用氟氮摻雜與低溫電漿處理在奈米金氧半電晶體元件製程上的應用 | 張子云; Chang Tzu Tun; 雷添福; Lei Tan Fu; 電子研究所 |