Browsing by Author 李介民
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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2003 | 變壓耦合式電漿二維流體模型與批次電漿蝕刻設備控制 | 李介民; Chieh-Min Lee; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系 |
Issue Date | Title | Author(s) |
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2003 | 變壓耦合式電漿二維流體模型與批次電漿蝕刻設備控制 | 李介民; Chieh-Min Lee; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系 |