Browsing by Author 林成利
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Issue Date | Title | Author(s) |
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2001 | 銅化學氣相沉積及其應用在深次微米銅栓之研究 | 林成利; Cheng-Li Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen; 電子研究所 |
16-Nov-2006 | 降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu(111)/Cu(200)晶向比之電漿處理製程 | 陳茂傑; 林成利; 陳鵬森 |
11-Sep-2006 | 降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu(111)/Cu(200)晶向比之電漿處理製程 | 陳茂傑; 林成利; 陳鵬森 |