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2014利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究凃弘恩; Tu, Hung-En; 呂志鵬; Leu, Jihperng; 材料科學與工程學系所
16-十二月-2013掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
21-八月-2014掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
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