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2013氮化矽側壁硬式光罩方法製造多晶矽奈米線非揮發性記憶體元件之特性研究姜鈞; Chiang, Chun; 林鴻志; 黃調元; Lin, Horng-Chih; Huang, Tiao-Yuan; 電子工程學系 電子研究所
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