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瀏覽 的方式： 作者 彭修平

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公開日期標題作者
1994以含鹵素元素氣體之子迴旋共振電漿進行複晶矽的蝕刻技術彭修平; S. P. Peng; 張國明; Kow-Ming Chang; 電子研究所
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