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公開日期 | 標題 | 作者 |
---|---|---|
1991 | 運用氫電漿前處理對離子植入負型阻劑之氧電漿清除的探討 | 林璧君; LIN, BI-JUN; 龍文安; LONG, WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |
1999 | 銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 | 林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen; 電子研究所 |
公開日期 | 標題 | 作者 |
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1991 | 運用氫電漿前處理對離子植入負型阻劑之氧電漿清除的探討 | 林璧君; LIN, BI-JUN; 龍文安; LONG, WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |
1999 | 銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 | 林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen; 電子研究所 |