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2012四氟化碳及氨之雙重電漿處理於氧化鉿金屬-絕緣層-半導體薄膜電晶體電特性之改善研究林聖嘉; Lin, Sheng-Chia; 張國明; Chang, Kow-Ming; 電機學院電子與光電學程
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