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瀏覽 的方式： 作者 王孝義

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1999射頻磁控濺鍍法在矽晶片上沉積三元Si-C-N薄膜及其特性分析王孝義; Xiao-Yi Wang; 郭正次; Cheng-Tzu Kuo; 材料科學與工程學系
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