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瀏覽 的方式： 作者 邱維剛

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2012以1,2,2,4-四甲基-1-氮-2-環戊烷作為先趨物利用電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電碳氮化矽薄膜邱維剛; Chiu, Wei-Gang; 呂志鵬; Leu, Jih-perng; 材料科學與工程學系
16-十二月-2013掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
21-八月-2014掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
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