光碟製程設備智慧型診斷與維修保養系統之發展---子計畫四：光碟後段(光碟片)製程監控與光碟產品資料追蹤系統(I)

Abstract

本子計畫目標在發展光碟製程設備監視與資料追蹤系統。其係配合設備網路與控制 網路達成資料傳輸，整合即時控制(Real-time Control)與資料擷取(SCADA)技術，並增加 光碟片製程資料追蹤技術已達成設備監視與資料追蹤之目的。 提昇製造良率對於量產為主之製造系統如IC、LCD、或光碟片等3C 產業至為重要。 而良率之提昇於今各個半導體或光碟片製造廠多屬半自動之操作，且多屬回饋性控制， 即必須依靠製造完成後之整體檢驗而得各設備之調適參考資料。對於批量生產之產品， 若產生品質不良情事，則須召回所有不良品，並於交貨日前已較高成本之運輸手段完成 交貨程序。本研究所欲發展之光碟製程設備監視與資料追蹤系統係以製程前饋控制作為 創新之標的，並透過資料追蹤以達成良率回饋控制之目的。各項配方、控制、產量與人 因資料可前饋性的隨著追蹤型光碟片以網路通訊的方法傳遞至連續製程的下游設備，使 下游設備得以依據該資料產生必要的調適，以控制產品之品質。