平面精密定位系統研製

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872212E009016.pdf (476.54 KB)

Date

Authors

Keywords

精密定位 , 衝量致動機構 , 次微米製程技術 , 光學編碼器 , 適應控制 , Precision positioning , Impact drive mechanism , Submicro process , Optical encoder , Adaptive control , Degree of freedom

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=364706&docId=65571
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94741

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研究計畫;;Research Plans