多晶半導體薄膜、薄膜電晶體及其製造方法

Abstract

一種製造多晶半導體薄膜的方法，包含：形成半導體層於基板上；形成覆蓋層於半導體層上；使用雷射光穿透覆蓋層，加熱半導體層使半導體層部分熔融，其中未熔融之另一部分包含多個固態顆粒；以及移除雷射光，使熔融部分之半導體層以固態顆粒為晶種進行再結晶，以形成多晶半導體薄膜。