利用晶體成長過濾基板而進行鎳誘發非晶矽結晶
| dc.citation.patentcountry | TWN | zh_TW |
| dc.citation.patentnumber | 200631098 | zh_TW |
| dc.contributor.author | 吳耀銓 | en_US |
| dc.contributor.author | 胡國仁 | en_US |
| dc.contributor.author | 賴育銘 | en_US |
| dc.contributor.author | 侯智元 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-16T06:13:28Z | |
| dc.date.available | 2014-12-16T06:13:28Z | |
| dc.date.issued | 2006-09-01 | en_US |
| dc.description.abstract | 本發明關於利用鎳誘發非晶矽結晶方法而製造出大的多晶矽顆粒，其採取壓印技術以控制多晶矽成長之成核位置，及利用不同指向的矽晶圓當做Ni的晶種層以控制Ni擴散的數量。 | zh_TW |
| dc.identifier.govdoc | H01L021/316 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/104160 | |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 利用晶體成長過濾基板而進行鎳誘發非晶矽結晶 | zh_TW |
| dc.type | Patents | en_US |