纖鋅礦結構材料之非極性晶面

Abstract

本發明係有關於一種成長纖鋅礦結構之新穎非極性()面磊晶層之方法，其包括：提供一具有鈣鈦礦(Perovskite)之單晶氧化物；選擇該單晶氧化物的一平面作為一基板；在該基板上以氣相沉積法生長一具有纖鋅礦結構半導體之非極性()面磊晶層。本發明亦提供一種以前述方法成長之非極性()晶面之磊晶層。