多軸慣性微動系統

Abstract

本發明係有關於一種多軸慣性微動系統，包括有一基座、一第一固定板、一第二固定板、一第一壓電致動器、一第二壓電致動器、一承載台、及一控制器。第一壓電致動器與第二壓電致動器之每一者產生位移之二端係分別連接於第一固定板、與第二固定板。控制器係分別控制輸入第一壓電致動器之電壓、及第二壓電致動器之電壓，致使承載台相對於基座產生移動或旋轉位移。因此，本發明藉由將兩壓電致動器以並聯方式設置，以達到多自由度奈米級之定位同時，結構保持緊緻且體積保持小巧。