光學元件中微透鏡與微孔自我對準的製作方法

Abstract

本發明係揭露一種光學元件中微透鏡與微孔自我對準的製作方法，其係在一透明基板上之不透明薄膜中製作微孔與環型孔，再以背向曝光自我對準技術將微孔與高分子材料所構成之微透鏡精確地整合，不需任接合步驟，且能以較習知技術更為簡單的方式，藉由一連貫之批次生產製造流程將微透鏡與微孔精確地對準整合。由於微孔與環型孔屬於同心圓結構，且為同一步驟製作而成，因此藉由背向曝光方法，即能將微透鏡與微孔精確地對準整合。利用本發明製作出的微透鏡與微孔之整合結構，在光學存取或光學測量裝置應用上，可有效提高其光學解析度與效能。