Title: | 以表面微加工技術製作垂直式梳狀致動器之方法 |
Authors: | 徐文祥 鍾君煒 廖挺欣 |
Issue Date: | 16-Jul-2004 |
Abstract: | 本發明垂直式梳狀致動器之製法,係於基材上以電鑄形成第一犧牲層後,並於該第一犧牲層上以電鑄形成下梳狀電極,再於該下梳狀電極上電鑄形成第二犧牲層,然後在第二犧牲層上先後以沈積法形成第三犧牲層及上梳狀電極,最後蝕刻上述各犧牲層而得到垂直式梳狀致動器。藉此解決習知技術致動效果不佳、致動行程受限、基底材料受限,或上、下電極之側向間距受限於對準精度而造成控制不佳的問題,相對可達到降低致動電壓、增大行程及適用各種基材的功效。 |
Gov't Doc #: | H01L021/302 H01L021/302 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/104303 |
Patent Country: | TWN |
Patent Number: | 200412628 |
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