標題: | 三維積體電路的靜電放電防護結構 |
作者: | 陳冠能 賴明芳 陳宏明 |
公開日期: | 21-十一月-2013 |
摘要: | 一種三維積體電路的靜電放電防護結構,包括一第一主動層、一矽晶穿孔元件以及一第二主動層。其中矽晶穿孔元件配置於第一主動層中,第二主動層則與第一主動層相互堆疊。第二主動層包括一基板以及一靜電放電保護元件,靜電放電保護元件具有一摻雜區埋於基板內,且靜電放電保護元件電性連接該矽晶穿孔元件。 |
官方說明文件#: | H01L027/04 H02H009/00 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/104820 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | I416706 |
顯示於類別: | 專利資料 |