標題: 三維積體電路的靜電放電防護結構
作者: 陳冠能
賴明芳
陳宏明
公開日期: 21-十一月-2013
摘要: 一種三維積體電路的靜電放電防護結構,包括一第一主動層、一矽晶穿孔元件以及一第二主動層。其中矽晶穿孔元件配置於第一主動層中,第二主動層則與第一主動層相互堆疊。第二主動層包括一基板以及一靜電放電保護元件,靜電放電保護元件具有一摻雜區埋於基板內,且靜電放電保護元件電性連接該矽晶穿孔元件。
官方說明文件#: H01L027/04
H02H009/00
URI: http://hdl.handle.net/11536/104820
專利國: TWN
專利號碼: I416706
顯示於類別:專利資料


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