サスペンデッドナノワイヤチャネルを有するトランジスタ構造とその製造方法

Title:	サスペンデッドナノワイヤチャネルを有するトランジスタ構造とその製造方法
Authors:	林鴻志蘇俊榮徐行徽李冠樟
Issue Date:	24-Feb-2012
Gov't Doc #:	H01L029/786 H01L021/336
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105806
Patent Country:	JPN
Patent Number:	4934662
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