位移量測系統及其方法

Abstract

一種位移量測系統，包括一同調光源、一二維光柵、一光感測器及一訊號處理裝置。當同調光入射至二維光柵後，產生一零階光束及多個一階繞射光束。零階光束與其中的兩個一階繞射光束在光感測器上形成不同方向的干涉條紋。因此，當二維光柵移動時，位移量測系統藉由計算不同方向的干涉條紋之相位差，而獲得二維光柵於對應方向上的位移量。此外，當二維光柵旋轉時，位移量測系統藉由一階繞射光束之繞射圖形的旋轉角度，而獲得二維光柵的旋轉量。