III族氮化物系布拉格反射鏡之製造方法及布拉格反射鏡

Abstract

本發明係提供一種能夠解決先前技藝中所使用之布拉 格反射鏡(DBR)之既有問題點;及提供一種既可以消除晶 格失配、裂縫問題之製造VCSELs布拉格反射鏡(DBR)之 方法;以及提供一種兼具高反射、寬抑制頻帶且符合垂直腔 面射型雷射(VCSELs)應用需求之布拉格反射鏡。