橢圓偏光儀及運用該橢圓偏光儀之橢圓偏光參數量測方法

Abstract

1.一種橢圓偏光儀，包含：一偏光單元，包含一照明源及一偏光片，該偏光片位於該照明源之一側，用以將該照明源所提供之光源轉換成偏極光；以及一偵測單元，用以連續量測三組偏極光的亮度值，該偵測單元包含一液晶片、一補波片、一析光片及一檢測器，該三組偏極光係分別由該偏光單元發出且經一待測物反射後，再依序通過該液晶片、該補波片、該析光片而到達該檢測器，以供該檢測器進行量測而取得該三組偏極光的亮度值後，依據該三組偏極光的亮度值以一演算法直接計算出該待測物之橢圓偏光參數；其中，該三組偏極光係分別在該液晶片之彼此相隔60度之不同相位延遲時通過該液晶片。