一維鈦金屬奈米結構及其製造方法

Abstract

一種一維鈦金屬奈米結構之製造方法，其步驟包含：將一耐溫基材與一鈦金屬(Ti)置入一化學氣相沉積反應爐中；及利用一載流氣體將一四氯化鈦(TiCl4 )帶入該化學氣相沉積反應爐和該鈦金屬進行反應，且反應溫度為300~900℃，沉積溫度為200~850℃，該載流氣體之流量為0.1~50sccm，反應時間為5~60小時，使該四氯化鈦與該鈦金屬反應為一亞氯化鈦，再經由熱裂解而生成一一維鈦金屬奈米結構於該耐溫基材上。