具有優選排列方向之奈米雙晶金膜、其製備方法、及包含其之接合結構

Abstract

本發明係有關於一種具有優選排列方向之奈米雙晶金膜、其製備方法、及包含其之接合結構。該金膜具有一厚度方向，且於該厚度方向沿著[220]晶軸方向堆疊；其中，該金膜係至少50%以上之體積係由複數個奈米雙晶金所構成，該些奈米雙晶金係彼此相鄰且沿著垂直該厚度之方向排列，並沿著[111]晶軸方向堆疊而成。