集積型多元感測器模組

Abstract

本發明提供一種集積型多元感測器模組，包括形成在單一基板上的一加速度計、一共振型磁力計及一計算電路。該加速度計之質量塊與該共振型磁力計之質量塊形成一體，並懸吊在該基板上。該計算電路連接該加速度計與該共振型磁力計之輸出，用以偵測及計算該質量塊在二或以上方向上之位移量、該質量塊在特定方向上所受之磁量、該質量塊位移之角速度、環境溫度、表面溫度、環境氣壓。